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超純水是經過高度純化的水,其電阻率接近理論極限(約18.2MΩ·cm),基本不含任何離子、有機物、顆粒物和微生物。這種高純度的水可用于半導體制造中的各種清洗和工藝步驟,以防止任何可能影響芯片性能的污染物殘留。半導體工業對超純水的質量要求極為...
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